Machine de dépôt sous vide – pour le verre à faible émissivité
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La machine horizontale de dépôt sous vide pour le verre architectural de Northglass est adéquate pour la fabrication du verre à couches à faible émissivité, verre de contrôle solaire, film AR, etc. Elle adopte une méthode de pulvérisation par magnétron pour le dépôt de différents matériaux à la surface du substrat.
Caractéristiques techniques:
- La conception identique 795mm des compartiments sous vide permet à l’utilisateur de pouvoir échanger librement l’emplacement de la pompe, du dispositif de séparation de gaz et des compartiments de la cathode dans le but d’améliorer la flexibilité du processus.
- La nouvelle conception du dispositif de séparation de gaz empêche la dérivation du gaz entre les compartiments de la cathode, aboutissant à un excellent effet de séparation.
- L’aluminium extrudé supportant le tube permet à l’aimant et ses empiècements de s’isoler de l’eau de refroidissement afin d’éviter un changement de champ magnétique dû au trempage longue période dans l’eau.
- La machine de dépôt sous vide est équipée de 5 à 9 collecteurs pour le système de traitement auxiliaire. Les collecteurs diffèrent en fonction des exigences du traitement.
- Le contrôle de haute précision pour le système de convoyage est assuré par servomoteurs.
- La réduction du volume des chambres d’entrée et de sortie permet d’améliorer l’efficacité et de réduire les coûts.
- Un couvercle de cathode intégré assure une combinaison parfaite en disposant le collecteur de gaz, les contrôleurs et les connecteurs d’alimentation électrique ainsi que divers médias dans une "boîte" pour une plus grande flexibilité de configuration du processus.
- Chaque cathode est équipée d’un système de contrôle indépendant.
- La conception monobloc du couvercle permet un levage facile des systèmes mécaniques et hydrauliques afin de réaliser un contrôle automatique optimisé.
- L’adoption des pompes turbo-moléculaires avancées maglev et des pompes de ligne à vis permet de prévenir la pollution causée par un reflux d’huile et de garantir un ensemble plus fiable et efficace.
Paramètres techniques
| Série SE2540H | Série SE3300H |
Substrat | Verre flotté, verre trempé, verre feuilleté, etc. |
Taille du substrat | Max. 2540 × 3660mm (personnalisable) | Max. 3300 × 6000mm (personnalisable) |
Epaisseur du substrat | 3-19mm (personnalisable) |
Durée du cycle | > 20s | > 30s |
Pression limite | < 2E-6mbar |
Durée de fonctionnement effective | > 95% |
Uniformité du film | ≤ ± 1.0% |