Machine de dépôt sous vide – pour écran de visualisation

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La machine de dépôt sous vide verticale de Northglass produit principalement le verre à couches pour l’industrie de l’affichage. Elle adopte une méthode de pulvérisation par magnétron pour le dépôt des films conducteurs transparents (TCO, ITO, AZO, etc.).

Données techniques:
Taille du substrat: Personnalisable
Epaisseur du substrat: Personnalisable
Durée du cycle: Personnalisable
Pression limite: < 2E-6mbar
Température du substrat: Max.350℃
Prétraitement du substrat: LIS (source d’ion linéaire)
Technique de dépôt: Cathode plane DC, cathode rotative à fréquence intermédiaire

Caractéristiques techniques:
1. Faible pollution de particule
2. Nécessite un petit espace
3. Système de traitement de gaz ajustable
4. Unité thermique multi étagée pour une distribution uniforme de la température
5. Maintenance et changement de cible plus pratique
6. Conception modulaire